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HRM-300 Series

Compact한 본체 디자인으로 설치공간을 최소화하였고,
사용자의 다양한 요구에 알맞도록 반사조명계, 투과조명계, 스테이지,
Z축 전동 등을 선택 및 조합하여 이상적인 모듈화 구조로 설계되었습니다.

카달로그

제품문의

제품소개

편안한 Eyepiece
눈의 피로를 줄이기 위하여 25mm 시야 수(F.N)를 기본 제공하며, 보다 편안한 관찰 각 20°와 정립상을 제공합니다. 또한 광손실을 최소화 하도록 최적의 프리즘으로 설계하였습니다.
수용력 넓은 광학설계
최대 6’까지의 스테이지가 장착될 수 있도록 광학설계가 되어 있으며, 투과관찰용 Glass Plate 및 Wafer Holder Plate까지 다양한 샘플 어플리케이션이 적용되도록 하였습니다.
Z축 포커스모듈
자동 포커스, 단차측정 뿐만 아니라 PANASIS를 통하여 Topographic 이미지 및 높이 Data 산출과 3D Profile 분석이 가능한 Z축 포커스모듈 기능입니다. (Z축 Stepping 모터 Resolution : 최대 0.01um / Stroke : 최대 30mm)
편리한 ME
배율 변환시, 현재의 배율을 자동으로 표시하며 측정 소프트웨어 PANASIS를 통해 자동으로 교정값을 요구해 측정할 수 있는 편리한 기능입니다.
균등한 조명 IL기능
배율변경을 하며 관찰시 각각의 배율에 따라 최적화된 조명밝기를 제공함으로써 항상 일정한 이미지의 밝기를 제공하여 작업의 효율성을 더욱 높였습니다.
친환경적인 ECO기능
작업자가 일시적으로 부재시 자동적으로 절전모드로 변환하여 조명의 열기로부터 샘플이 훼손되는 것을 방지하며 에너지 절약 및 램프 수명을 연장시킬 수 있습니다.(PANASIS S/W ECO설정 조절 가능)
높은 사용편의성의 대형 스테이지
검사현미경의 스테이지 (8인치 , 12인치)는 다양한 사이즈의 샘플들을 효율적으로 관찰/검사하기에 최적화되어 있습니다. 또한, 인체공학적으로 설계된 디자인은 피로감을 줄여줍니다.
최고의 자동화 시스템
전동리볼버, 전동스테이지, Z축 제어를 모두 할 수 있는 최고의 자동화 시스템을 통해 사용자는 좀 더 빠르고 정밀하게 현미경을 사용할 수 있습니다.
HSIA Module
다양한 사용자의 환경에 적용 할 수 있는 광학모듈 (HSIA)를 통해 편리하게 사용할 수 있습니다.
또한, customized 된 소프트웨어에서 쉽게 적용될 수 있습니다.

제품사양

Specifications

Specifications
HRM-300 HRM-300M
Optical System Infinity-Corrected Optical System
Illumination Reflected / Transmitted Reflected
Base unit Focus
  • Stroke range: 29.5 mm
  • Coarse and Fine focusing knob
  • Coarse: 17.7 mm/revolution
  • Fine: 0.1 mm/revolution (1 ㎛ scale)
  • Upper limit stopper, Torque adjustment ring
Electronics
  • Integrated power supply for 12V 100W light adjustment.
  • LED voltage indicator
  • IL switch and ECO switch
Reflected Illumination BF/DF
  • HR3-RLI: Kohler illumination system
  • Brightfield / Darkfield, Normaski DIC, Polarized light
BF
  • HR3-RLIBI: Kohler illumination system
  • Brightfield, Normaski DIC, Polarized light
Light source HM-LH100: 12V 100W halogen
Transmitted Illumination  
  • Kohler illumination system
  • Brightfield
  • Built-in filters (ND6, ND25, LB)
 -
Light source HM-LH100: 12V 100W halogen
Condenser Abbe HR-ACD: N.A 1.20 -
Long-working HR-LWCD: N.A 0.65
Stage 4X4 inch
  • HR-ST4R: metal plate, glass plate
  • Size 210(W) X 170(D) mm
  • Stroke 104(X) X 102(Y) mm
6X4 inch
  • HR-ST6X4R: metal plate, glass plate
  • Size 299(W) X 193(D) mm
  • Stroke 154(X) X 104(Y) mm
6X6 inch
  • HR-ST6R: metal plate, glass plate
  • Size 300(W) X 280(D) mm
  • Stroke 153(X) X 153(Y) mm
10X8 inch
  • HR-ST10X8R: metal plate, glass plate
  • Size 610(W) X 319(D) mm
  • Stroke 255(X) X 205(Y) mm
14X12 inch
  • HR-ST14X12R: metal plate, glass plate
  • Size 710(W) X 419(D) mm
  • Stroke 356(X) X 305(Y) mm
Observation Tube Trinocular HM-WETR: Erect type(F.N 25), Incline angle 20°
Binocular HM-WEBI: Erect type(F.N 25), Incline angle 20°
Eyepieces HM-EPA10X: 10X(F.N 25), Diopter adjustable
Reticle Crosshair, X-micrometer, XY-micrometer, Grid
Revolving Nosepiece BF/DF
  • HM-D5BDRE: 5-position Nosepiece
  • for Dark-field objective lens with DIC slot
BF
  • HM-D5RE: 5-position Nosepiece
  • for Bright-field objective lens with DIC slot
Dimensions Approx. 246(W) X 572(D) X 514(H) mm
Weight Approx. 19 kg

Objective Lens

Objective Lens
Objective Lens Magnification Numerical Aperture WD(mm) Resolution(㎛)
PlanFluor EPI 5X 0.15 20 2.24
10X 0.30 11 1.12
20X 0.45 3 0.75
50X 0.80 1 0.42
100X 0.90 1 0.37
PlanFluor EPI-BD 5X 0.15 20 2.24
10X 0.30 11 1.12
20X 0.45 3 0.75
50X 0.80 1 0.42
100X 0.90 1 0.37
LPlanFluor EPI 20X 0.40 12.0 0.84
50X 0.50 10.6 0.67
100X 0.80 3.3 0.42
LPlanFluor EPI-BD 20X 0.40 12.0 0.84
50X 0.50 10.6 0.67
100X 0.80 3.3 0.42

3D Profile Module for HRM-300A

3D Profile Module for HRM-300A
Mechanism High-resolution 5-phase stepping motor, Long cross-roller guide system
Stroke Distance 30 mm
Resolution 0.01 ㎛
Repeatability 0.5 ㎛
Max Speed 1.4 mm/sec
Dimensions 240(W) X 157(D) X 202.5 (H) mm
Weight 5 kg
Load capacity 15 kg

HSIA

Objective Lens
Reflected Light Illuminator Control System HSIA-300
Reflected Light Illuminator HR3-RLI, HR3-RLIBF (Infinite-corrected optical system)
Frame unit HSIA-FR3M HSIA-FR3A HSIA-FR3R
Focusing Module None Motorized focusing module
Cross-roller guide system
- Stroke: 30mm
- Resolution: 0.01㎛
- Repeatability: 0.5㎛
- Max, speed: 1.4mm/sec
Revolving Nosepiece Manual type
HM-D5BDRE (BF/BD)
HM-D5RE (BF only) 		Auto type
HM-5BDRE-A (BF/BD)
HM-5RE-A (BF only)
Load Capacity 15kg
Weight (Frame only) 1.2kg 4.0kg
Control Pad HSIA-CPM HSIA-CPA HSIA-CPR
Brightness adjustment Brightness adjustment
Focus adjustment 		Brightness adjustment
Focus adjustment
Automatic revolving nosepiece
Electronics Rating: 100-240V~ 50/60Hz 4.0-2.2A
Weight (Control Box, Pad) 6.9kg